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寛永19年（1642年）12月11日に配所で死去した。享年89。真宗大谷派善教寺を墓所とする。配流された際に持参した念持仏を毎日拝んでいたという。この念持仏は死の直前に、毛利家用人の伊沢六右衛門に与えられ、その後は古川家に伝来したが、昭和46年（1971年）に古川家より松本市に寄贈された。