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日本真空工業会と協同で平成15年より真空技術者の資格認定を行なっている。 1958年7月 - 真空技術研究会と真空機器協会とが合併し真空協会を設立。 1974年 - 日本真空協会へ改称。 2011年2月16日 - 一般社団法人として法人格を取得。 2012年2月28日 - 一般社団法人日本真空協会から一般社団法人日本真空学会へ改称。