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CVD

CVD 化学気相成長 (Chemical Vapor Deposition) - 物質の薄膜形成方法のひとつ。脳血管障害 (Cerebral Vascular Disorder) - 脳梗塞などの脳の病気の総称。心血管疾患 (Cardio Vasucular Disease) - 心臓・血管など循環器における疾患。

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プラズマCVD

プラズマCVD（plasma CVD, plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD）は、プラズマを援用する型式の化学気相成長(CVD)の一種である。さまざまな物質の薄膜を形成する蒸着法のひとつである。化学反応を活性化させるため、高周波などを印加

熱CVD

温では膜の質が落ちやすい、などが挙げられる。 CVD装置の構成には幾つか種類があり、下記のような特徴で分類される。反応室全体を加熱する（ホットウォール型）、基板台のみを加熱して反応室は冷却する（コールドウォール型）横型（構造が簡易）、縦型（温度分布、応答速度、ガスの流量制御などに優れる）

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