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サブミリ波は、波長が0.1mm〜1mmの電磁波。ミリ波よりも波長が短いことから名づけられた。電波法施行規則では、デシミリメートル波と呼ばれている。 周波数としては3THz〜300GHzであり、およそマイクロ波の上限に相当する。なお3THz近辺は、テラヘルツ波とも呼ばれる。 特性は光に近く、直進性が強く、空気中の水蒸気によって減衰する。