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CVD
CVD
化学気相成長 (Chemical Vapor Deposition) - 物質の薄膜形成方法のひとつ。 脳血管障害 (Cerebral Vascular Disorder) - 脳梗塞などの脳の病気の総称。 心血管疾患 (Cardio Vasucular Disease) - 心臓・血管など循環器における疾患。
相關單字
プラズマCVD
プラズマ
CVD
(plasma
CVD
, plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD)は、プラズマを援用する型式の化学気相成長(
CVD
)の一種である。さまざまな物質の薄膜を形成する蒸着法のひとつである。化学反応を活性化させるため、高周波などを印加
熱CVD
温では膜の質が落ちやすい、などが挙げられる。 CVD装置の構成には幾つか種類があり、下記のような特徴で分類される。
反応室
全体を加熱する(ホットウォール型)、基板台のみを加熱して
反応室
は冷却する(コールドウォール型) 横型(構造が簡易)、縦型(温度分布、応答速度、ガスの流量制御などに優れる)