字典

エピ 化学物質の命名法で使用される接頭辞（エピ (化学)） Epitaxy（エピタキシー）、またはEpitaxial（エピタキシャル）の略として、基板上に薄膜を製造する工程（エピタキシャル成長）、または基板上に成長した薄膜そのものを指すことがある。エピを形成させたウェハーは半導体素子を製造するうえで