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太和元年（366年）閏4月、会稽郡剡県石城山の栖光寺で病死した。 彼の著作としては、『即色遊玄論』・『聖不弁知論』・『道行旨帰』・『学道誡』・『釈朦論』・『切悟章』・『弁三乗論』等を残したと、南朝梁の慧皎の『高僧伝』（巻4、本伝）では伝えている。また、彼の文集として『文翰集』10巻があったという。