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山藤逸によって再建される。天正13年（1585年）に鷹山氏が筒井氏に従って伊賀へ去ると、帰農した鷹山氏の旧臣たちは、茶筅製作を生業とし、その際に、無足人座と称する宮座を結成し、当社の神殿に最も近い位置に、座小屋を有した。 江戸時代には寛永、元禄、享保の各年代の本殿棟札から、法楽寺・西光寺・上坊・中坊が神宮寺的役割をしたと推察される。