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1μm以上の精度で測定する測定法の一つが逐次三点法である。 三本のプローブを使い被測定物の表面形状を測定する。その出力を計算式にいれ計算することによって、表面形状が算出される。その形状がしばしば最小二乗法で表面を算出することもある。 一点法や反転一点法、二点法で解消できなかった、回転運動誤差や直進並進誤差を取り除くことが出来る。