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電子散乱とは、電子が原子・原子核・素粒子などにより運動のエネルギーや方向を変えられること。 弾性散乱電子 非弾性散乱電子：以下の過程により電子エネルギー損失が起こる。 プラズモン共鳴 バンド間遷移 内殻電子遷移 後方散乱電子（BSE） 透過電子 電子の散乱角の分布を調べることで、原子や原子核の多極子モーメントを知ることができる。