พจนานุกรม

硫酸またはクロロ硫酸に濃過酸化水素を作用させる。ペルオキシ二硫酸を加水分解したり、硫酸と水を電気化学的に酸化して得る。 実験室的には、硫酸に過硫酸アンモニウムを加えて調製される。 過硫酸は洗浄剤として用いられる。半導体回路製造過程で、レジスト除去剤としての用途が検討されている。 過硫酸の塩は、酸素系の漂白剤、洗浄剤として用いられる。